4-Kreis-Diffraktometer 424-512.51

Die Einsatzmöglichkeiten dieses 4-Kreis-Diffraktometers, bestehend aus den Komponenten 424 und 512.51, reichen von Eigenspannungs-und Texturmessung bis hin zu Dünnschichtanalysen und Waferuntersuchungen.

Der Phi-Kreis beinhaltet eine XYZ-Verstellung (150mm x 150mm x 25mm).

Die Bestromung erfolgt über Schleifringe.

Spezifikationen Phi-/Chi-Kreis:

  Phi-Kreis Chi-Kreis
Verfahrbereich [°]: 360 360
Auflösung [°]: 0,001* / 0,002* ** 0,001*
Genauigkeit ['']: 30 30
WDH (unidir.)['']: <= 2 <= 3
Umkehrfehler ['']: <= 10 <= 15
Übersetzung: 360:1 / 180:1** 360:1

* in Verbindung mit Schrittmotor, 1000 Schr./U.

** Goniometer 410A

Spezifikationen 2-Theta/Omega:

  2-Theta Omega
Auflösung [°]: 0,001* 0,001*
Genauigkeit ['']: <= 30 <= 30
WDH (unidir.)['']: <= 2 <= 2
Umkehrfehler ['']: <= 7 <= 7
Übersetzung: 360:1 360:1
Exzentrizität [µm]: <= 3 <= 3
Taumelfehler ['']: <= 4 <= 4

* in Verbindung mit Schrittmotor, 1000 Schr./U.

Spezifikationen X/Y:

  X Y
Auflösung [mm]: 0,002* 0,002*
Genauigkeit [µm]: +/- 50 +/- 50
WDH (unidir.)[µm]: +/- 5 +/- 5
Umkehrfehler [µm]: 5 5
Spindelsteigung [mm/U]: 2 2

* in Verbindung mit Schrittmotor, 1000 Schr./U.

Spezifikationen System:

Fehlerkugel [mm]: <= 0,03
Gewicht [kg]: 120

Zubehör:

Kollimator-Arm Kollimatorträger: 8692
Detektor: optional
Blendensystem: Serie 3000
Steuerung: 9300
CCD-Kamera: MiniVID
Motoren: 2-/3/-5-Ph.
Endschalter: inklusive
Nullpunktkontrolle: 9100 inklusive
Encoder: inkremental
  absolut
Getriebe (Phi, Omega, 2-Theta): 2056.05
  2056.10
  2056.20
Getriebe (Chi): 2083.05
  2083.10
  2083.20

4-Kreis-Diffraktometer 424-512.51

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