2D Beam Position and Intensity Monitor 3100.10

  • Grundlage: 2D Teilionisationskammer
  • Auflösung: < 2μm (typischer Wert: 0,8μm*)
  • eingabaute Kalibrierfunktion
  • Spannung: 1400V
  • Verstärker: Differentialverstärker, Strahlprozessor
  • Atmosphäre: N2 (0.6 - 1.4) bar
  • Anode/Kathode: Au (30x30)mm
  • Elektroden Gap: 10mm (andere auf Anfrage)
  • Range: vertikal 6mm, horizontal 10mm (jeweils +/- 4mm verstellbar)
  • grobe Motoreinstellung:
    • Auflösung: 0,884μm bei 400 Schr./U.
    • Bereich: +/- 4mm
    • Antrieb: Schrittmotorensteuerung
    • Endschalter
  • Encoder optional
  • Fenster: Beryllium, Kapton oder Fensterlos
  • Dimensionen (in Strahlrichtung): 93mm + 20mm für Abdeckplatte, Flansch und Eintrittsfenster

* abhängig von Kalibrierung am Standort

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