Tiefengradierte Multilayer / Breitbandspiegel

  • Multilayer mit einer großen Anzahl verschiedener Bilayer-Dicken um die Braggbedingung für viele Photonenenergien/Wellenlängen zu erfüllen
  • Breitband- oder Bandpassreflektoren sind möglich
  • Energiebandbreiten von 20% und mehr sind realisierbar
  • Tiefengradienten können für Photonenenergien vom EUV bis zu harter Röntgenstrahlung (> 80 keV) optimiert werden
  • die relative Energie-Bandbreite bleibt auch bei Änderung der Photonenergie (mit entsprechendem Braggwinkel) erhalten
  • Anpassung der Energiebandbreite an ein gegebenes Quellspektrum möglich
  • hoher Photonenfluss möglich durch Reflexion eines großen Anteils des Quellspektrums, z.B. an Bendingmagneten oder Plasmaquellen

 

 

Messung von Breitbandspiegeln:

Simulation (schwarz) und Messung (rot) der Reflektivität eines Breitbandspiegels für den EUV-Beeich (R-vs-lambda, 3.8-4.5 nm, links) und für den harten Röntgenbereich (R-vs-theta, Braggwinkel 0.21-0.26°, rechts).

Typische Abmessungen:

Foto typischer Multilayerspiegel-Abmessungen.

Multilayerspiegel können in fast allen Größen hergestellt werden, von wenigen Quadratmillimetern (beispielsweise 6x4 mm² wie im Foto gezeigt) bis zu 500 mm Länge (typischerweise Synchrotronspiegel) oder 8" Durchmesser (Wafer).

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